艾灸后烫起泡了，可以按照以下步骤处理：
1.立即停止艾灸：如果艾灸时出现烫起泡的情况，应立即停止艾灸，避免继续烫伤。
2.冷却受伤部位：用冷水冲洗受伤部位，或使用冰袋冷敷，以减轻疼痛和肿胀。冷敷时间约为15-20分钟。
3.刺破水泡：如果水泡较大，可以用消毒后的针或剪刀刺破水泡，但要注意避免撕破水泡皮，以免感染。刺破后，用消毒棉签轻轻挤压出泡内液体。
4.消毒处理：使用碘伏或酒精对受伤部位进行消毒，以防止感染。
5.涂抹药膏：可在受伤部位涂抹烫伤药膏，如湿润烧伤膏等，以促进伤口愈合。
6.包扎伤口：如果水泡破裂后伤口较大，或出现红肿、疼痛加剧等情况，应使用消毒纱布包扎伤口，避免感染。
7.注意休息：在伤口愈合期间，应注意休息，避免受伤部位受到摩擦和刺激，保持伤口清洁干燥。
8.观察伤口：密切观察伤口的变化，如果出现感染、化脓等情况，应及时就医。
需要注意的是，艾灸时应注意控制温度和时间，避免烫伤皮肤。如果出现严重的烫伤，应及时就医治疗。