肺间质性疾病的病因较为复杂，常见的有以下几类：
1.环境因素：
吸入无机粉尘：如二氧化硅、石棉、滑石、锑、铍、煤、铝、锡等。
吸入有机粉尘：如霉草尘、蔗尘、蘑菇肺、饲鸽者病、棉尘、合成纤维、电木放射线损伤。
微生物感染：病毒、细菌、真菌、卡氏肺孢子虫病、寄生虫等。
药物：细胞毒化疗药物、白消胺、环磷酰胺。
放射线损伤。
吸入气体：氧、二氧化硫、氮氧化物、氯气、氧化氮等。
2.药物因素：
细胞毒化疗药物、白消胺、环磷酰胺等。
3.治疗因素：
放疗、化疗。
介入治疗。
4.自身免疫性疾病：
系统性红斑狼疮。
类风湿关节炎。
干燥综合征。
多肌炎/皮肌炎。
系统性硬化症。
混合性结缔组织病。
5.其他：
慢性心脏病。
心力衰竭。
营养不良。
遗传因素。
病毒感染。
胃食管反流病。